| 1 | Draper实验室微机械惯性敏感器的研制情况及近期测试结果显示文摘可氏振动陀螺仪(CVG)的工作原理是通过作用在振动质量上的哥氏效应来检测惯性转动的。Draper实验室的微机电系统(MEMS)中的CVG设计是利用支撑在与硅结构阳极粘接的玻璃基片的两个硅检测质量,进行电容耦合梳状驱动异相180°振动原理进行工作的,沿与速度矢量垂直的角运动使检测质量做离面运动,经电容检测到和放大得出惯性角速率的测量结果。经过对设计的不断改进,现在Draper CVG的偏置稳定性在温控(±0.25℃)状态下,6小时漂移测试已好于10°/h,在-40℃至+85℃范围内的温度补偿为50°/h,相应的偏置和刻度因数为200ppm,角度随机漂移的典型值为0.25°/√h,日观测的最好值为0.05°/√h。与之对应的MEMS力矩平衡加还度计也已研制,它是支撑旋转在玻璃片上的一非平衡硅跷板状检测质量,玻璃基片上提供传感器和静电力矩电容器,在温控状态下6小时漂移测试中已验证亚毫g性能,在-40℃至+85℃范围内的温度补偿性能为1mg,相应的偏置和度因数为200ppm,速度漂移为5cm/s/√h。本文也讨论了MEMG硅振荡加速度计(SOA),它通过依附在普通检测质量上电容耦合梳状硅谐振片的频率变化测量加速度。 | Ash,ME | 2001 | 惯导与仪表2001，，2： | 2 |
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