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| 1 | 管状构件内表面真空镀膜方法研究进展显示文摘综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对管状构件内表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积及各种等离子体(包括直流、射频及电子自旋共振等离子体)增强化学气相沉积方法在管状构件内表面镀膜方面的应用,分析了这种方法的优缺点;重点阐述了溅射镀膜方法 (包括直流二极(或三极)溅射、磁控溅射及离子束(或激光束)溅射)及电弧离子镀技术在管状构件内表面镀膜时对薄膜种类、沉积速率、薄膜厚度轴向均匀性、膜/基结合力等方面的特点。最后对管状构件内表面各种真空镀膜方法进行了分析对比,指出了存在的问题及今后的发展方向。 | 赵彦辉 贾莹 于宝海 肖金泉 | 2014 | 表面技术2014，43，2： | 7 |
| 2 | 不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究显示文摘在不锈钢管道溅射镀膜装置上,通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析,得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数.实验结果表明,在压强为80~90Pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜. | 王勇 张耀锋 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 | 2007 | 中国科学技术大学学报2007，37，4： | 4 |
| 3 | 不锈钢管道低温溅射镀TiN薄膜技术显示文摘设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀TiN薄膜装置。利用该装置,对Ф86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜实验,并对镀膜实验结果进行分析,得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数。样品测试结果表明:在压强为80~90Pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁获得的TiN薄膜最佳,薄膜沉积速率为0.145nm/s。镀膜后真空室的二次电子产额明显降低。 | 张耀锋 王勇 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 | 2007 | 强激光与粒子束2007，19，8： | 3 |
| 4 | 低温容器材料在真空状态下放气率的研究进展显示文摘考察了低温容器中材料放气的来源,材料放气率的常用测试方法以及材料放气率的理论模型。简要论述了各测试方法的特点与测试范围,同时简要比较了各材料放气率理论模型的特点,旨在为低温容器放气率的深入研究提供基础。 | 夏莉 李蔚 | 2016 | 制冷与空调(四川)2016，30，5： | 3 |
| 5 | 管状工件内表面真空镀膜方法的研究进展显示文摘本文针对管状工件内表面的真空镀膜方法进行了分类综述。介绍了国内外学者所开发研究的十余种镀膜方法,对各种方法的应用范围和特点进行了简要分析。最后总结提出尚存的问题。 | 韩永超 张世伟 韩进 | 2012 | 真空2012，49，1： | 3 |
| 6 | 红外探测器杜瓦真空寿命研究进展显示文摘随着军事、航天、航空等领域的发展,红外探测器正向超大面阵、超长线列方向发展,对红外探测器封装杜瓦提出了高可靠、长寿命和轻量化的要求。本文介绍了国内外杜瓦真空寿命的研究进展,部分杜瓦可实现10年以上的真空寿命。分析了影响红外探测器杜瓦真空寿命的因素,包括杜瓦漏气、杜瓦材料放气及气体渗漏等。总结了提高杜瓦真空寿命的手段,最后给出了红外探测器组件发展中需要注重研究的相关技术。 | 石新民 莫德锋 范崔 张阳 李雪 | 2021 | 真空与低温2021，27，6： | 1 |
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