测量薄膜折射率的几种方法

查看全文 作　　者：[1]孙香冰;[1]任诠;[1]杨洪亮;[1]冯林;[2]Y.T.Chow

机构地区：[1]山东大学光学系,山东济南250100;[2]香港城市大学光电子学研究中心

出　　处：《量子电子学报》索引2005年第22卷第1期,共6页

基　　金：本研究工作得到国家自然科学基金(60377016;50272037和60476020)国家高技术863计划(2002AA313070)山东大学晶体材料国家重点实验室开放经费的资助。 摘　　要：准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义。系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析。 关键词：薄膜光学折射率聚合物薄膜椭偏法准波导

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