小体积大抽速多发源钛升华泵

查看全文 作　　者：[1]姚达毛;[1]Lollo,V 机构地区：[1]中国科学院等离子体物理研究所索引 出　　处：《真空科学与技术》索引1999年第19卷第A10期,共3页 摘　　要：介绍使用在超高超人空下,被抽气体主要为CO的小体积、大抽速、多发源钛升华泵的设计思想、结构特点和部分测试结果。 关 键 词：钛升华泵 蒸发源 吸气面积 超高真空