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类金刚石碳膜的热稳定性

查看全文 作　　者：[1]夏立芳;[1]李光;[2]马南 高影响力作者 机构地区：[1]哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨150001;[2]双太电子实业有限公司,黑龙江哈尔滨150020高影响力机构 出　　处：《材料科学与工艺》索引2000年第8卷第4期,共6页高影响力期刊 摘　　要：总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段 ,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化 ,评述了国内外的最新研究进展 。 关 键 词：类金刚石碳膜 热稳定性 退火 膜结构 内应力
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