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XPS和TOF-SIMS在硬盘驱动器(HDD)磁头表面微污染分析中的应用

查看全文 作  者:[1]刘义为;Moulder J [2]F;Vlasak P [2]R;[3]蒋致诚;JIANG Zhi-[3]cheng 高影响力作者 机构地区:[1]广东省东莞市新科磁电厂MTE部,,东莞523087;[2]Physical Electronics PHI, 6509 Flying Cloud Drive, Eden Prairie,;[3]Visiting Professor from Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science高影响力机构 出  处:《理化检验(化学分册)》索引2001年第37卷第2期,共3页高影响力期刊 摘  要:XPS和 TOF- SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分 ,找出污染物的来源 ;XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息 ,而 TOF- SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。 关 键 词:XPS TOF-SIMS 硬盘驱动器 磁头 磁臂焊接位 表面有机微污染物 分析方法
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参考文献(2)

引证文献(4)

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