ZnO薄膜的性能和应用

查看全文 作　　者：Frans C.M.Van De [1]Pol;陈运祥 机构地区：[1]荷.Enschede Twente大学电气工程系 出　　处：《压电与声光》索引1991年第13卷第6期,共10页 摘　　要：1 引言 作为半导体、光导体、压电体和光波导材料的氧化锌(ZnO)在科学和技术上有着广泛的应用。ZnO引人注目的性能包括:晶体结构方面的各向异性;非化学计量缺陷结构;宽的带隙;可分解升华及其两性的化学特性;在可见光区光学透明和相当大的折射率;大的压电常数以及大的声光、电光和非线性光学系数。 关 键 词：ZNO薄膜 半导体 薄膜 应用