TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展

查看全文 作　　者：Shang H F;Li J;Shao T M 出　　处：《中国表面工程》索引2014年第27卷第6期,共1页 摘　　要：TiAlN薄膜具有硬度高、附着力强及热稳定性好等优良特性,被广泛用于涂层刀具中。钽(Ta)是一种硬度高、韧性好、熔点高的过渡金属元素,经常用于提高合金的抗高温氧化性能。将Ta与TiAlN制成多层膜,有可能获得更好的力学性能及热稳定性。清华大学摩擦学国家重点实验室和武汉材料保护研究所的研究人员设计并制备了TiAlN/Ta多层膜,研究了其力学性能及热稳定性。 关 键 词：热稳定性 力学性能 多层膜 TIALN薄膜 武汉材料保护研究所 抗高温氧化性能 国家重点实验室 过渡金属元素