基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器

查看全文 作　　者：[1,2,3]姚嘉林;[1]江五贵;[2,3,4]邵娜;[2,3,5]史云胜;[2,3]田佳丁;[2,3]杨兴

机构地区：[1]南昌航空大学航空制造工程学院,南昌330063;[2]清华大学精密仪器系,北京100084;[3]清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;[4]南昌航空大学信息工程学院,南昌330063;[5]军械工程学院电子与光学工程系,石家庄050003

出　　处：《传感技术学报》索引2016年第29卷第7期,共7页

基　　金：国家自然科学基金项目(51375263);国家自然科学基金项目(11162014) 摘　　要：基于柔性电极结构,本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器,在阐述传感器工作原理的基础上,提出了两种设计思路,即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器,并结合传感器的结构和柔性材料的加工特性,进一步提出了相应的力敏特性材料结构优化思路和加工流程,利用该流程得到了一种结构轻薄、工艺简单、高灵敏度的微压力传感器。经测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到218 f F/mm Hg,在智能穿戴和可植入压力检测等领域显示出较好的应用前景。 关键词：柔性MEMS 电容式压力传感器柔性电极

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