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时间 1989 - 2010 学科选择学科
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15篇 您的检索式：期刊名="Microelectromechan Syst"
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    题名 作者 年代 出处 被引量
1Passive mixing in a three-dimensional serpentine microchannel显示文摘Liu R H 2000Microelectromechan syst2000，9，2：1
2Ultrasonic micromixer for microfluidic system 显示文摘Yang Z Matsumoto M Maeda R 2001Microelectromechan Syst2001，9，2：1
3Micromachined antenna stents and cuffs for monitoring intraluminal pressure and flow显示文摘TAKAHATA K GIANCHANDANI Y WISE K D 2006J Microelectromechan Syst2006，15，5：1
4Fabrication and testing of a high-speed microscale turbocharger显示文摘SAVOULIDES N JACOBSON S A LI H 2008Microelectromechanical Syst2008，17，5：1
5Passive mixing in a three-dimensional serpentine microchannel显示文摘Liu R H 2000Microelectromechan Syst2000，9，2：1
6Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures显示文摘Xie H Erdmann L Zhu X 2002J Microelectromechanical Syst2002，11，：1
7Micromechanical switches fabricated using nickel surface micromachining 显示文摘Zavracky P M Majumder S Mcgruer N E 1997Microelectromechan Syst1997，6，1：1
8A HARPSS polysilicon vibrating ring gyroscope显示文摘A Y AZI F 2001J Microelectromechanical Syst2001，10，：1
9A system for the dynamic characterization of microstructures显示文摘Burdess J S Harris A J Wood D 1997J Microelectromechan Syst1997，6，4：1
10Two-photon-absorbed near-infrared photopolymerization for three-dimensional microfabrication显示文摘 Kawata S 1998J Microelectromechanical Syst1998，7，4：1
11High-frequency AIN-on-silicon resonant square gyroscopes显示文摘T ABRIZIAN R 2013J Microelectromechanical Syst2013，22，5：1
12Micromechanical switches fabricated using nickel surface micromachining 显示文摘Zavracky P M Majumder S Mcgruer N E 1997Microelectromechan Syst1997，6，1：1
13Thin film shape-memory alloy actuated micropumps 显示文摘BENARD W L KAHN H HEUER A H 1998J Microelectromechanical Syst1998，7，：1
14Resonant Silicon Accelerometers in Bulk Micromachining Technology-an Approach显示文摘Burrer C Esteve J 1996Microelectromechan Syst1996，5，2：1
15Anisotropic etching of silicon as a tool for creating injection molding tooling surfaces显示文摘WERKMEISTER J 2006J Microelectromechanical Syst2006，15，6：1
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