| 2 | 脆性材料的激光微细加工工艺与机理显示文摘近年来,二极管抽运YAG激光器正在激光加工特别是微细加工技术领域中发挥着重要的作用.然而,迄今为止,有关YAG激光作用下材料的基本物理性能对微细加工机理的报导甚少.本文采用各种典型的金属材料(如Cu、W、Ta、Ti等)和典型非金属材料(如Si和金刚石)为基材,以二极管抽运YAG在x-y扫描系统中进行处理(扫描面积400 μm×125 μm),系统研究了各种工艺条件下材料的成分、熔点、沸点、热导性等对激光烧蚀速率的影响规律,分析了激光烧蚀机理,并提出了可初步解释上述实验结果的物理模型.(OE27) | 曾晓雁 B.Ozygus H.Weber | 2001 | 激光与光电子学进展2001，38，9： | 0 |
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