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1篇 您的检索式：作者名="E.Obermeier"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	带有补偿电路的互换性硅压力传感器显示文摘该文介绍硅压阻式压力传感器。利用多晶硅电阻元件补偿温度影响,该传感器工作范围广,有互换性,兼具多种优点。掺入硼杂质,调节温度系数和灵敏度等重要参量。硅片处理包括615℃时用LPCVD法形成多晶硅;两次掺硼;950℃氮中老化30分钟;湿法制作图案。给出特性参数。工作温度-30~+125℃,满刻度输出7.5mV/V。	P.Kopystynski E.Obermeier 林正强	1990	遥测遥控1990，0，3：	0

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