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1篇 您的检索式：作者名="GENDA Satoshi"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	具有力传感器的纳米加工探针的设计(英文)显示文摘给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置.该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC 单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成.而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体 (PZT)驱动器构成.压电陶瓷晶体(PZT)驱动器可对与切削量相对应的金刚石工具的Z向位置进行高速控制,从而实现加工复杂表面形状的目的.加工中的切削力是反映切削进程的重要指标,可由联结于FTC单元的高灵敏度力传感器进行测量.比对了用于联结力传感器和FTC单元的两种设计方法.	高伟 GENDA Satoshi KUDO Yasuto KIYONO Satoshi PATTEN A John	2005	纳米技术与精密工程2005，3，4：	1

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