| 1 | 计量型原子力显微镜显示文摘本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生,可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化,并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象,并对它们进行更精确的分析。文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析,提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法,并进行了大量的实验,得到良好的结果。目前,该计量型原子力显微镜在其测量范围内,任意两点间距离的测量不确定度为U95=5nm+2×10-4l;在z-轴上的测量不确定度为U95=(1.1~1.2nm)+2×10-4h。 | M.Bienias K.Hasche R.Seemann K.Thiele 赵克功 高思田 徐毅 | 1998 | 计量学报1998，19，1： | 31 |
您所在的机构暂未开通此部分的功能，请联系管理员