| 1 | 纳米级定位的简单化设计——采用滚珠球轴承的扭轮摩擦传动显示文摘作者在前面的文章中报导了扭轮摩擦传动能实现亚纳米级的定位分辨率。然而,这套装置在结构上的复杂之处就是在于采用了静压轴承支撑扭轮。本文指出了扭轮摩擦传动在结构上如何可以简化为采用球轴承支撑扭轮。在简化之后,实验表明定位分辨率小于1纳米。本文得出结论,采用球轴承的扭轮摩擦传动对于在洁净环境下要求实现纳米级定位的制造过程变得更为方便,而且可以取代滚珠丝杠以及常规摩擦传动方式。 | H.Mizumoto S.Arii A.Yoshimoto T.Shimizu N.Ikawa 罗兵 | 1997 | 国防科技参考1997，18，3： | 0 |
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