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10篇 您的检索式：作者名="SAJAVAARA T"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	Atomic layer deposition of oxide thin films with metal alkoxides as oxygen sources 显示文摘	MIKKO R KAUPO K ANTTI R RAISANEN P I LESKELA M SAJAVAARA T KEINONEN J	2000	Science2000，288，5464：	1
	2	Low temperature growth of high purity, low resistivity cop- per films by atomic layer deposition 显示文摘	KNISLEY T J ARIYASENA T C SAJAVAARA T	2011	Chem Mater2011，23，20：	1
	3	Pro-perties of AlN grown by plasma enhanced atomic layer depo-sition显示文摘	BOSUND M SAJAVAARA T LAITINEN M	2011	Appl Surf Sci2011，257，17：	1
	4	Effects of surface roughness on results in elastic recoil detection measurements显示文摘	Sajavaara T Arstila K Laakso A	2000	Nucl Instr Meth2000，，：	1
	5	显示文摘	Kukli K Ritala M Sajavaara T	2002	Chem Vap Deposition2002，8，：	1
	6	X-ray absorption studies of cubic boron-carbon-nitrogen films grown by ion beam assisted evaporation显示文摘	Gago R Jimenez I Sajavaara T	2001	Diamond and Related Materials2001，10，：	1
	7	Low Temperature Growth of High Purity,Low Resistivity Copper Films by Atomic Layer Deposition显示文摘	Knisley T J Ariyasena T C Sajavaara T	2011	Chemistry of Materials2011，23，20：	1
	8	Comparison of hafnium oxide films grown by atomic layer deposition from iodide and chloride precursors 显示文摘	KUKLI K RITALA M SAJAVAARA T	2002	Thin Solid Films2002，416，12：	1
	9	Atomic Layer deposition of hafnium dioxide films from hafnium tetrakis (ethylmethylamide) and water 显示文摘	KUKH K RITALA M SAJAVAARA T	2002	Chem Vap Deposition2002，8，5：	1
	10	显示文摘	Nieminen M Sajavaara T Rauhala E	2001	J Mater Chem2001，11，：	1

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