| 4 | 基于MEMS存储器中二维驱动机构数值模型分析与实验显示文摘分析了MEMS数据存储器机构中柔性弹簧的线性大位移驱动特性,提出了一种等效数值模型,并利用该模型等效替换数据存储器驱动机构的关键部位,保留了MEMS数据存储器驱动机构的实际工作特性,并在此基础上将驱动机构转换成质量块和弹簧结构两种单元形式,解决了驱动机构中相对小尺寸有限元建模的问题,大大减少了单元数量.通过设计实验系统进行对比验证,驱动仿真分析结果与实验结果具有良好的吻合性,验证了该等效过程及模型的正确性,为MEMS数据存储器驱动机构的开发提供了理论设计和实验参考. | 沈毅 SARAJLIC E 周伟 | 2007 | 纳米技术与精密工程2007，5，2： | 0 |
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