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9篇 您的检索式：作者名="SEIDEMANN V"

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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	SU-8-micromechanical structures with in situ fabricated movable parts显示文摘	SEIDEMANN V RABE J FELDMANN M	2002	Microsystem Technologies2002，8，：	1
	2	SU -8 -micromechanical structures with in situ fabricated movable parts显示文摘	Seidemann V Rabe J Feldmann M	2002	Microsystem Technologies2002，8，：	1
	3	Novel micro-pneumatic actuator for MEMS 显示文摘	Butefisch S Seidemann V Buttgenbach S	2002	Sensors and Actuators2002，9798，：	1
	4	Fabrication and investigation of in-plane compliant SU8 structures for MEMS and their application to micro valves and microgrippers 显示文摘	Bütefisch S Buettgenbach S	2002	Sensors and Actuators A: Physical Volume:97-982002，4，1：	1
	5	Novel micro-pneumatic actuator for MEMS显示文摘	Butefisch S Seidemann V Buttgenbach S	2002	Sensors and Actuators A2002，9798，：	1
	6	Novel micro-pneumatic actuator for MEMS显示文摘	SEIDEMANN V BUTTGENBACH S	2002	Sensors and Actuators A Physical2002，9798，：	1
	7	Fabrication and investigation of in-plane compliant SU-8 structures for MEMS and their application to micro valves and microgrippers 显示文摘	BüTEFISCH S BUETTGENBACH S	2002	Sensors and Actuators A Physical2002，9798，：	1
	8	SU8-micromechanical structures with in situ fabricated movable parts显示文摘	Seidemann V Rabe J Feldmann H	2002	Microsystem Technologies2002，8，：	1
	9	Fabrication andinvestigation of in - plane compliant SU8 structures for MEMS and their application to micro valves and microgrippers 显示文摘	Bütefisch S Büttgenbach S	2002	Sensors and Actuators2002，，9798：	1

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