| 4 | 运用互补性显微术在终极尺度上三维重构并分析同一个纳米级样品显示文摘运用两种不同的纳米尺度或原子尺度测量分析方法分析同一个样品,对完全掌握一种材料或产品的属性至关重要,这种优势互补的分析方法特别适用于测定MOSFET、FINFET等新一代纳米级晶体管的掺杂分布情况。本文综合电子断层扫描技术(ET)与原子探针层析技术(APT)两种表征方法,研究纳米级晶体管中硼原子空间分布特征。 | A.Grenier R.Serra G Audoit J.P.Barnes D.Cooper S.Duguay D.Blavette N.Rolland F Vurpillot P.Morin Pascal Gouraud | 2015 | 中国集成电路2015，24，8： | 0 |
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